洁净室建筑之外单独建立机房，但其离洁净室更好很近，机房要注意隔振、隔音问题，地面应全部做防水处理，并有排水措施；

隔振：应在振源的风机、电机、水泵等的支架、底座作防振处理，甚至有的话将设备安在混凝土板块上，再用防振材料支撑该板块，该板块的重量应为设备总重量的2~3倍；

隔声：除去系统上安装消声器外，大型机房可考虑在墙壁上贴附有一定吸声性能的材料，要装隔声门，切忌在与洁净区的隔墙上开门。