除了净化技术，电子厂净化车间还需进行空气流动管理。这一管理手段主要包括空气流量控制、气流方向控制和气压控制。空气流量控制可以确保车间内的空气量充足，满足生产所需。气流方向控制可以使空气从洁净区域流向不洁净区域，有效避免交叉污染。气压控制则可以控制车间内的气压差，防止外界的空气进入净化区域。空气流动管理的合理应用，可以保持车间内空气的洁净状况。

微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径ISO1级或更严格。

高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输送。

对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定

对防静电、电磁兼容等

大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万㎡

丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区），在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的允许建筑面积可按生产工艺要求确定。

净化车间工程净化系统不进行清洗，均会影响空气洁净等级。普通空调系统不是一次安装完，多次安装必然有一些污染物留在风管之中，如果不清理干净，就会直接影响空气的清洁度，所以在安装过程中要边施工边清洗，并在验证之前进行24小时空吹。