空气净化技术是电子厂净化车间的核心。其中,主要的净化技术包括过滤、静电除尘、化学吸附等。过滤器可以有效地过滤空气中的微粒,将空气中的尘埃、等颗粒物截留下来。
电子厂净化工程是电子工业厂房建造不可缺少的一部分,也是对生产环境的一种改善。电子洁净车间洁净度级别可分为10级,100级,1000级,万级、十万级等,电子洁净车间洁净度直接影响电子产品的质量。
电子工厂净化厂房特点
>电子产品生产发展迅猛
IC特征尺寸0.05u m,12" ~16" ,64G
TFT第六代产品
对化学污染物的严格要求
大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房
投资大、能量消耗大
微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径ISO1级或更严格。
高纯物质,包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输送。
对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定
对防静电、电磁兼容等
大体量、多层单向流洁净室,二层/三层布置数万㎡