除了净化技术,电子厂净化车间还需进行空气流动管理。这一管理手段主要包括空气流量控制、气流方向控制和气压控制。空气流量控制可以确保车间内的空气量充足,满足生产所需。气流方向控制可以使空气从洁净区域流向不洁净区域,有效避免交叉污染。气压控制则可以控制车间内的气压差,防止外界的空气进入净化区域。空气流动管理的合理应用,可以保持车间内空气的洁净状况。
电子净化车间一般要求洁净度在10万级标准以上的车间,主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。根据洁净度不同分为100级(小于3.5个),1000级(小于35个),10000级(小于350个),100000级(小于3500个)。
电子工厂净化厂房特点
>电子产品生产发展迅猛
IC特征尺寸0.05u m,12" ~16" ,64G
TFT第六代产品
对化学污染物的严格要求
大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房
投资大、能量消耗大
净化车间工程净化系统不进行清洗,均会影响空气洁净等级。普通空调系统不是一次安装完,多次安装必然有一些污染物留在风管之中,如果不清理干净,就会直接影响空气的清洁度,所以在安装过程中要边施工边清洗,并在验证之前进行24小时空吹。